江苏嘉兆电子请求一种用于晶圆加工的安全抓取设备专利防止抓取过程中晶圆原材料周边遭到过大揉捏发生决裂

  

  金融界2024年10月29日音讯，国家知识产权局信息数据显现，江苏嘉兆电子有限公司请求一项名为“一种用于晶圆加工的安全抓取设备”的专利，公开号CN 118824936 A，请求日期为2024年9月。

  专利摘要显现，本发明公开了一种用于晶圆加工的安全抓取设备，归于半导体加工范畴，一种用于晶圆加工的安全抓取设备，能轻松完成对晶圆进行快捷快速的抓取操作，防止抓取过程中在晶圆的边际方位处施加过量的揉捏力，经过自动操控伺服电机发动带动坐落承载板顶部中心方位的收卷盘旋转，对与其衔接的多个主拉绳进行两边进而对弹簧片a的下端施加向上的移动施力，弹簧片a受揉捏后形变曲折，向承载板中心方位方向凸出在待抓取晶圆原材料的底部，经过自动操控多个弹簧片a曲折凸出对待抓取晶圆原材料进行托举，能够轻松又有用的防止抓取过程中晶圆原材料的周边方位遭到过大的揉捏而发生决裂情况，在某些特定的程度上保证了晶圆原材料抓取过程中的稳定性。

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